La sala blanca es un laboratorio que consta de varios espacios con un ambiente controlado en temperatura con un exigente filtrado de aire para limitar el número de partículas suspendidas y así asegurar un nivel muy alto de limpieza. 25 m2 están clasificados como clase 100 (ISO5) y 100 m2 como clase 10.000 (ISO7). El número de clase indica la cantidad de partículas por unidad de volumen, en un laboratorio sin tratamiento esta cantidad es superior 1.000.000.

El laboratorio de fotolitografía óptica está situado dentro de la clase 100, y cuenta con instrumentos que permiten definir estructuras de un tamaño lateral de hasta 1 micrómetro en fotoresina en obleas de 4 pulgadas o sustratos de menor tamaño.
Equipamiento:

  • Alineador de máscaras MA6 de Süss Microtech,
  • “Spin coater” de Süss Microtech,
  •  Banco químico húmedo para limpiezas y revelados,
  • Microscopio óptico Zeiss Axio Imager para inspección visual.

Alineador de máscaras MA6

La fotolitografía se complementa con otros equipos que permiten realizar grabados o crecimientos de materiales según las necesidades del proceso de microfabricación. Para grabados químicos por vía húmeda disponemos de bancos químicos especializados. Los grabados por vía seca se realizan con un equipo dual de Sistec que nos permite realizar grabados por iones reactivos (RIE) y por haz de iones (IBE). Para el crecimiento de películas delgadas usamos un equipo de evaporación por cañón de electrones de Boc Edwards (PVD), un equipo de deposición química en fase vapor asistida por plasma (PECVD) de Sistec y un equipo de micro-electrodeposición.

Sistec RIE & IBE

Boc Edwards E-Beam PVD

Además, disponemos de un perfilómetro mecánico de KLA-Tencor P6 para analizar superficies, un equipo de limpieza por plasma de oxígeno, una estación de micropuntas, un equipo de microsoldadura manual de Kulicke & Soffa, un equipo de soldadura anódica y una sierra de precisión para corte de chips.

Perfilómetro mecánico KLA-Tencor P6

Los investigadores de centros públicos o privados, así como los profesionales del mundo industrial que requieran el uso de estos equipamientos dispondrán también, si así lo solicitan, del apoyo científico y técnico de nuestro personal altamente cualificado y experimentado.

Oblea de 4” con microsistemas fabricados en la sala blanca del LMA

Imagen SEM de la zona central de uno de estos microsistemas.

Laboratorio de Microscopías Avanzadas

Somos una iniciativa singular a nivel nacional e internacional. Ponemos a disposición de la comunidad científica e industrial las infraestructuras más avanzadas en microscopía electrónica y de sonda local para la observación, caracterización, nanoestructuración y manipulación de materiales a escala atómica y molecular.

Datos de Contacto

Campus Río Ebro, Edificio Edificio I+D+i

C/ Mariano Esquillor, s/n
50018 Zaragoza (España)

Tel.:(+34) 976 762 980
lma@unizar.es

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