La sala blanca es un laboratorio que consta de varios espacios con un ambiente controlado en temperatura con un exigente filtrado de aire para limitar el número de partículas suspendidas y así asegurar un nivel muy alto de limpieza. 25 m2 están clasificados como clase 100 (ISO5) y 100 m2 como clase 10.000 (ISO7). El número de clase indica la cantidad de partículas por unidad de volumen, en un laboratorio sin tratamiento esta cantidad es superior 1.000.000.
El laboratorio de fotolitografía óptica está situado dentro de la clase 100, y cuenta con instrumentos que permiten definir estructuras de un tamaño lateral de hasta 1 micrómetro en fotoresina en obleas de 4 pulgadas o sustratos de menor tamaño.
Equipamiento:
- Alineador de máscaras MA6 de Süss Microtech,
- “Spin coater” de Süss Microtech,
- Banco químico húmedo para limpiezas y revelados,
- Microscopio óptico Zeiss Axio Imager para inspección visual.
Alineador de máscaras MA6
Sistec RIE & IBE
Boc Edwards E-Beam PVD
Perfilómetro mecánico KLA-Tencor P6
Oblea de 4” con microsistemas fabricados en la sala blanca del LMA
Imagen SEM de la zona central de uno de estos microsistemas.
Universidad de Zaragoza
Ministerio de Ciencia, Innovación y Universidades
Actividad de I+D+I realizada por la Universidad de Zaragoza cofinanciada por el Gobierno de Aragón
Laboratorio de Microscopías Avanzadas
Somos una iniciativa singular a nivel nacional e internacional. Ponemos a disposición de la comunidad científica e industrial las infraestructuras más avanzadas en microscopía electrónica y de sonda local para la observación, caracterización, nanoestructuración y manipulación de materiales a escala atómica y molecular.
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